Các dự án đầu tư vào Khu công nghệ cao Hòa Lạc được thực hiện theo 03 giai đoạn như lưu đồ dưới đây:

*Chú thích:
– Hướng dẫn tại phụ lục 01
– Hướng dẫn lưu đồ A
– Hướng dẫn tại phụ lục 10
– Hướng dẫn tại phụ lục 03
– Hướng dẫn lưu đồ B
– Hướng dẫn tại phụ lục 11
Đối với các dự án không sử dụng đất, không xây dựng công trình thì thực hiện giai đoạn chuẩn bị đầu tư và giai đoạn khai thác vận hành.